不同級(jí)別潔凈室、潔凈室與非潔凈區(qū)之間都要維持一定的壓差，以避免或減 少通過(guò)開(kāi)口或縫隙造成的污染擴(kuò)散。判定各相鄰房間是否滿足所需靜壓差的要求， 需要組潔凈室微壓差檢測(cè)。一般做潔凈室壓差檢測(cè)常用儀器介紹如下！ 
1.曲管壓差計(jì) 
       曲管壓差計(jì)是一種既簡(jiǎn)單而壓差測(cè)值適應(yīng)范圍又相對(duì)較寬的液體微壓計(jì)。它利用液體管的曲率變化替代斜管壓差計(jì)的傾角變化，以便于在較寬的范圍內(nèi)測(cè)定微壓差，而構(gòu)造較為簡(jiǎn)單。當(dāng)測(cè)定的微壓差較小時(shí)，恰處于曲管斜率較小的直管段。隨著被測(cè)壓差的增大，被測(cè)值顯示在曲率變化的曲管段。被測(cè)壓差更大時(shí)，被測(cè)值將顯示在斜率很大的直管段上。常將它掛在潔凈室墻上或空氣處理機(jī)組靠近空氣過(guò)濾器的外壁上，以監(jiān)測(cè)潔凈室內(nèi)外或空氣過(guò)濾器前后的靜壓差。

2. 彈性氣壓計(jì)（機(jī)械式壓差計(jì)） 
       彈性氣壓計(jì)是利用物體彈性制造的氣壓計(jì)。彈性氣壓計(jì)種類繁多，應(yīng)用范圍非常廣泛。通過(guò)測(cè)定與齒輪或磁鏈相連的指針因隔膜位移而偏轉(zhuǎn)的距離，來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)區(qū)域的空氣壓差。彈簧片或膜片壓力計(jì)屬于機(jī)械式壓差計(jì)。因存在壓差使彈簧管、彈簧片變形或膜片位移，根據(jù)其變形量、位移量與所測(cè)壓力差存在的函數(shù)關(guān)系為原理制成。通過(guò)杠桿機(jī)構(gòu)，將變形量傳遞給指針，或通過(guò)磁性變化將膜片位移量傳遞給指針，以指示壓差量。彈性壓力表工作原理是通過(guò)表內(nèi)的敏感元件的彈性形變作為測(cè)量的基礎(chǔ)，再由表內(nèi)機(jī)芯的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)將壓力形變傳導(dǎo)至指針， 引起指針轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)顯示壓力。圖 2-38 給出了彈簧管、彈簧片壓力計(jì)工作原理圖和某種通過(guò)磁性傳遞隔膜變化來(lái)指示壓力的微壓計(jì)外形。

3.U 型氣壓計(jì) 
       U 型氣壓計(jì)由于形狀像英文大寫字母 U 字而得名。實(shí)際上 U 型氣壓計(jì)是兩個(gè)有刻度的連通的玻璃管。加入液體后，一頭與大氣連通，另一頭與被測(cè)的氣體連通。利用兩個(gè)玻璃管中的液面差測(cè)量氣壓差。結(jié)合已知的大氣壓數(shù)值，就可以得到被測(cè)的氣壓值。

4.斜管壓差計(jì) 
       斜管微壓計(jì)可以理解為 U 型壓力計(jì)的變形。一般情況，U 型壓力計(jì)的玻璃管垂直讀數(shù)，斜管微壓計(jì)的玻璃管傾斜讀數(shù)。玻璃管傾斜后，同樣的壓差在玻璃管中顯示的距離較大，讀數(shù)的精確度較高。所以與 U 型壓力計(jì)比較，斜管微壓計(jì)的讀數(shù)精確度要高一些。斜管壓力計(jì)的工作原理圖如圖 2-37 所示，斜管壓力計(jì)通常由一個(gè)可變化傾角且?guī)в锌潭鹊牟ＡЪ?xì)管和底部與其相通的容器構(gòu)成。容器頂部中央和斜管的另一端分別設(shè)有接入口。斜管壓差計(jì)由于其斜管傾斜角度 a 的的可調(diào)性，它在 a 角較小時(shí)，微小壓差在斜管上就對(duì)應(yīng)較長(zhǎng)的 l 值。壓差的微小變化，都能從 l 值的變化靈敏的辨認(rèn)，因此常用于測(cè)微壓差。

                                                     
5.電子微壓計(jì) 
       電子微壓計(jì)一般是通過(guò)壓力傳感器、電子線路和顯示器直接用數(shù)字顯示壓力的數(shù)值，如圖 2-39。以膜片位移所產(chǎn)生的靜電電容或電阻的變化，測(cè)定一個(gè)空間與其周圍環(huán)境間的壓差值，并顯示或輸出該值。常見(jiàn)的電子微壓計(jì)與上述膜片式壓力計(jì)相同之處在于，它同樣是依據(jù)膜片在兩側(cè)不同壓力作用下所形成的位移量來(lái)反映膜片兩側(cè)的壓力差；不同之處在于它不是依據(jù)機(jī)械方式，而是依靠測(cè)定膜片位移而產(chǎn)生的靜電電容或電阻的變化量來(lái)反映所測(cè)壓差的大小。

       壓差計(jì)與壓力計(jì)經(jīng)常是可以通用的。有時(shí)測(cè)出壓力可以計(jì)算出壓差；有時(shí)又可以測(cè)出壓差計(jì)算出壓力。U 型壓力計(jì)就是一種典型的通過(guò)測(cè)壓差計(jì)算壓力的儀器，常用的氣壓計(jì)和壓差計(jì)有 U 型氣壓計(jì)、曲管壓力計(jì)、斜管壓力計(jì)、簧片或膜片壓力計(jì)、電子微壓計(jì)等。