再用微壓差計逐一測量封閉的各潔凈室之間、潔凈室和周圍附屬環境之間、潔凈室走廊之間、周圍附屬環境與外部環境間的潔凈室壓差。如果潔凈設施中包括多個潔凈室,則應從最里面的房間,通常也是潔凈級別最高的房間與其緊鄰的房間之間壓差測起。如此繼續下去,直至測得最靠外的潔凈室與周圍附屬環境之間、與室外環境之間的壓差。
步驟 1 所有門應處于關閉位置或正常位置;
步驟 2 有排風系統,應在最大排風風量下進行;
步驟 3 若潔凈空間被分為若干房間,應從里至外依次測量各級潔凈室間的
壓差,直至測出潔凈區與非潔凈區、室外環境之間的壓差;
步驟 4 對于潔凈度 5 級和優于 5 級的單向流潔凈室,還應測定在門開啟狀態下,離門口 0.6m 處的室內側工作面高度的粒子數;
步驟 5 與鄰室相同的潔凈室之間有不可關閉的開口時,應測定開口處的流速和流向;
步驟 6 測量并記錄下所有數據。
按照潔凈室設計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。不同級別的潔凈室或潔凈區與非潔凈室(區)之間的靜壓差,應不小于 5Pa。潔凈室與室外的靜壓差,不應小于 10Pa。
對于空氣潔凈度等級高于 5 級(100 級)的單向流潔凈室在開門時,門內側 0.6m 處的室內工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。若達不到以上標準的要求,應重新調整新風量、排風量,至合格為止。
所測的壓差一般很小,測量方法不正確很容易造成讀數有誤。應考慮下列措施:
1)為減少環境誤差所引起的測量誤差,可適當延長預熱平衡時間,建議設置永久性測點;
2)測點設在潔凈室中間,遠離可能影響測點局部壓力的送風口和回風口;
3)遠離強電磁場及振動源;
4)儀器應按計量器具管理辦法制定鑒定周期,定期標定。
潔凈室竣工后,再投入使用之前,首先要經過國家授權的檢測機構的檢測,并且取得 潔凈室檢測合格報告,然后徹底消毒以后,才能正常使用。