潔凈室的壓差就是潔凈室與周圍空間所必須維持的靜壓差,必要的壓差是控制漏氣方向的手段,是正常工作的基本條件。微電子行業的潔凈室為了保證潔凈度,不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區域泄漏。病毒實驗室或傳染病房,不允許室內空氣向室外泄漏。
為了控制區域之間的漏氣方向,對于區域之間的氣壓差有較嚴格的要求。一般要求潔凈室內的氣壓高于室外、或要求高級別潔凈室的氣壓高于低級別的潔凈室、或要求室內的氣壓低于室外。工業潔凈室和一般生物潔凈室都是采用維持正壓。對于使用有毒、有害氣體或使用易燃易爆溶劑或有高粉塵操作的潔凈室,生產致敏性藥物、高活性藥物的生物潔凈室以及其他有特殊要求的生物潔凈室需要維持負壓。所以測定潔凈室的氣壓差很重要。
潔凈室壓差檢測的目的是為了測定潔凈室的靜壓差,它可以是正壓或負壓,以防止潔凈室內(外)氣流間被污染。當不同空氣潔凈度等級或產品生產工藝性質不同的房間之間按規定維持一定的靜壓差時,相鄰潔凈室之間如果靜壓差過大或因建造原因帶來的縫隙,將會造成空氣泄漏,嚴重時會使潔凈室內的氣流紊亂,所以潔凈室之間的靜壓差范圍 5~20Pa,并應采取可行的技術措施控制潔凈室之間的靜壓差。
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